[10a-M136-1~9] CS.1 Code-sharing Session of 3.2 & 12.3

△ [10a-M136-3] Large deformation and rapid response of polymer based spatial light modulator fabricated with suspended structure

〇Yuki Hanabusa¹, Takashi Ikuta¹, Kenzo Maehashi¹ (1.TUAT)

Keywords:polymer, spatial light modulator

宙吊り高分子膜（PDMS）を用いた空間光変調器について報告する。デバイスを動作させてその応答を測定し、微小変位の制御に対応する応答を検出できた。また、動作変位を測定し、最大で７００ｎｍの変位が得られた。以上から宙吊りPDMSを用いた空間光変調器の作製およびその大変位動作を実証することができ、この結果から赤外光通信への応用が期待できる。