[10a-PA2-1~11] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[10a-PA2-4] Extraction of Fourier coefficients for the imaging ellipsometer

〇yuki iizuka¹, Lianhua Jin¹, Eiichi Kondoh¹, Bernard Gelloz², Makoto Uehara³ (1.Univ. of Yamanashi, 2.Nagoya Univ., 3.Mejiro67)

Keywords:imaging ellipsometer, least squars method, Fourier coefficients

イメージングエリプソメトリーは試料の光学定数分布や膜厚分布の測定が可能のことから幅広い分野での応用が期待されている．位相子回転法は安定かつ高精度の測定ができるため，点計測用分光エリプソメータの主流になっている．位相子回転型イメージングエリプソメータの位相子の回転と共に変調される光強度のフーリエ級数を求めるために，最小二乗法を用いた．ここでは， 本方法の検証実験およびその結果について述べる．