[10a-PA3-1~10] 6.1 Ferroelectric thin films

[10a-PA3-2] Piezoelectric characterization of P(VDF-TrFE) films by direct piezoelectric response microscopy

〇Iduru Kanagawa¹, Yuji Matsushita¹, Takeshi Yoshimura¹, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:P(VDF-TrFE), domain, piezoelectric effect

代表的な強誘電ポリマーP(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有することで知られている。我々は、P(VDF-TrFE)薄膜を用いた圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の開発を目指しており、本研究においてはP(VDF-TrFE)薄膜のd₃₃圧電定数の評価に取り組んでいる。逆圧電効果によるd₃₃定数の測定は報告されているが、正圧電効果による測定例はほとんどない。そこで今回は、正圧電応答顕微鏡法(DPRM)を用いてP(VDF-TrFE)薄膜のd₃₃定数の評価およびドメイン構造の観察を行った。