9:30 AM - 11:30 AM
[10a-PB3-1] Intermediate patterned metal layers for Ⅲ-Ⅴ-on-Si multijunction solar cells with improved bonding interface properties
Keywords:surface-activated bonding, metal/semiconductor junction, solar cells
我々は表面活性化接合法によってIII-V/Si多接合太陽電池の作製に成功し、高変換効率を達成しているが、高い界面抵抗が問題となっている。解決策として接合界面にエミッタ電極と同じ形状のパターニング金属と、その周りを絶縁層で覆った金属層(patterned metal層)を形成し、III-V//patterned metal接合を形成することで、界面抵抗改善が見込まれる。本研究ではp+-GaAs//patterned metal/n+-Si接合を作製し、その電気特性を評価した。