[10a-S011-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[10a-S011-3] ZnO薄膜へのV, N共添加による可視光吸収制御

〇(B)星野 光太郎¹、立山 千聡²、岡田 健²、川島 知之²、鷲尾 勝由² (1.東北大工、2.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、共添加、透明導電膜

可視光透明太陽電池は紫外光のみを吸収して発電するため、その効率は0.4%ほどしかない。我々はこれまでに、バナジウム（V）と窒素（N）を共添加したZnO（VZON）薄膜において、亜鉛窒化物の形成による波長400 ~ 550 nm域の可視光吸収が生じることを報告した。本研究ではV添加量の制御による同波長域の光吸収制御を検討した。