[10a-S221-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[10a-S221-9] シリコンMOS界面におけるチャージポンピングEDMR

〇堀 匡寛¹、土屋 敏章¹、小野 行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：界面欠陥、チャージポンピング、EDMR