[10a-S224-1~8] 7.5 イオンビーム一般

[10a-S224-3] Au-Si共晶合金イオン源を用いたイオン注入によるシリコン酸化膜内での金ナノ粒子の形成と評価

〇岡西 裕太¹、一宮 正義¹、柳沢 淳一¹ (1.滋賀県立大工)

キーワード：イオン注入、金ナノ粒子