[10a-S321-1~13] 1.3 新技術・複合新領域

[10a-S321-10] Pt-MOSキャパシタを用いたアセトンセンサ

〇萩原 一樹¹、祖父江 琢哉¹、田中 貴久¹、内田 建¹ (1.慶應大理工)

キーワード：半導体、センサ、アセトン

人間の呼気には様々な揮発性有機化合物が含まれており、そのいくつかの呼気中濃度には健康状態と関連があることが知られている。例として呼気中の高濃度のアセトンは糖尿病が疑われるため、呼気中の濃度を調べることによる健康状態のチェックが可能になることが期待されている。本研究ではPtをゲート電極とするMOSキャパシタによる容量型センサを作製し、アセトンに対する特性を、同じPtを用いた抵抗型センサと比較した。