[10a-S421-1~12] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

△ [10a-S421-8] Study on Bonding of Glass with UV treatment using Polysilazane

〇Kohei Yamakami¹, Tue Phan¹, Yuzuru Takamura¹ (1.JAIST)

Keywords:Bonding material / process, Polysilazane, uv ozone treatment

マイクロマシンの分野では絶縁膜や構造材料としてのガラスとの接合がしばしば必要とされる。ガラス同士の接合方法として、様々な方法が報告されているが、低温かつ短時間で、粗さを持つ表面を張り付ける簡便な方法への要求は依然高い。本研究では、ポリシラザンを用いて数百nm程度の凹凸のあるガラスの接合を目指す。特にオゾン環境下で紫外線（UV)を照射することによりプロセス温度の低温化を試みたので報告する。