[10a-W241-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[10a-W241-1] 金ナノ粒子触媒被覆シリコンの低ダメージラジカル窒化

〇三宅 万智子¹、本田 昂平¹、北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防衛大)

キーワード：ナノ粒子、プラズモン

金ナノ粒子の触媒効果発現が近年注目されている。本研究では金ナノ粒子の触媒性をプラズマ表面反応へ応用し、イオン衝撃によるプラズマ照射表面へのダメージの低減と良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回はイオン照射、プラズマからの光照射及び金ナノ粒子触媒の有無をそれぞれ比較し、ラジカル窒化を行うのに最良な条件を調べた。