[10a-W351-1~6] 9.4 熱電変換

[10a-W351-6] 共スパッタ法で作製したBa_xSr_1-xSi₂膜の熱電特性

〇(M1C)青山 航大¹、清水 荘雄¹、倉持 豪人²、召田 雅実²、秋池 良²、井出 啓介¹、片瀬 貴義¹、神谷 利夫¹、木村 好里¹、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.東ソー株式会社)

キーワード：ストロンチウムシリサイド、薄膜、熱電材料

室温付近で高い熱電特性を示すSrSi₂は、新規熱電材料として期待されている。本研究では、更なる特性の向上を期待してBaを固溶させたBa_xSr_1-xSi₂を共スパッタ法で作製し、これらの熱電特性を系統的に調べたので報告する。