[10a-W541-1~12] 15.4 III-V-group nitride crystals

[10a-W541-2] Analysis of Gas Phase Reaction for Trimethylaluminium and Ammonia by Time-of-Flight Mass Spectrometry

〇(M2)Takehiro Oyama¹, Zheng Ye¹, Maki Kushimoto¹, Shugo Nitta², Yoshio Honda^2,3, Hiroshi Amano² (1.Nagoya Univ., 2.IMaSS, Nagoya Univ., 3.IAR, Nagoya Univ.)

Keywords:trimethylaluminium, ammonia, time-of-flight mass spectrometry

本研究は窒化アルミニウムの結晶成長について、トリメチルアルミニウム (TMA) とアンモニア (NH₃) の反応過程を解明することを目的とする。
TMA と NH₃ を窒素キャリアガスと共に、反応炉に流した。
混合気体の一部を質量分析装置に吸引して分析した。
測定結果より、ジメチルアルミニウム (DMA) や DMANH₂ が熱によって反応し、より質量の大きな分子に変化したことが考えられる。