9:15 AM - 9:30 AM
[10a-W541-2] Analysis of Gas Phase Reaction for Trimethylaluminium and Ammonia by Time-of-Flight Mass Spectrometry
Keywords:trimethylaluminium, ammonia, time-of-flight mass spectrometry
本研究は窒化アルミニウムの結晶成長について、トリメチルアルミニウム (TMA) とアンモニア (NH3) の反応過程を解明することを目的とする。
TMA と NH3 を窒素キャリアガスと共に、反応炉に流した。
混合気体の一部を質量分析装置に吸引して分析した。
測定結果より、ジメチルアルミニウム (DMA) や DMANH2 が熱によって反応し、より質量の大きな分子に変化したことが考えられる。
TMA と NH3 を窒素キャリアガスと共に、反応炉に流した。
混合気体の一部を質量分析装置に吸引して分析した。
測定結果より、ジメチルアルミニウム (DMA) や DMANH2 が熱によって反応し、より質量の大きな分子に変化したことが考えられる。