[10a-W611-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

[10a-W611-1] ALD法で作製したTiO_x電子選択層の積層化による電気的特性の制御

望月 健矢¹、〇後藤 和泰¹、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工)

キーワード：酸化チタン、パッシベーション、原子層堆積法