[10a-W611-1~9] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [10a-W611-7] Investigation of electrical properties of liquid-phase-crystallized silicon by using theoretical model of majority carrier mobility

〇(P)Hiroshi Umishio¹, Takuya Matsui¹, Hitoshi Sai¹, Takeaki Sakurai², Koji Matsubara¹ (1.AIST, 2.Tsukuba Univ.)

Keywords:liquid-phase-crystallization, polycrystalline silicon thin film, thin film solar cells

近年、低コストなpoly-Si作製手法として、a-Siをレーザーで溶融・固化する液相結晶化法（LPC）が提案されている。LPC-Si太陽電池の効率向上にはLPC-Si膜の電気特性向上が必要だが、性能を律則する要因は未だ十分理解されていない。そこで本研究では、LPC-Siの電気特性を制限する要因とその改善法を明らかにすることを目的に、多数キャリア移動度の実験評価及び結晶粒界の影響を考慮した理論モデルとの比較検討を行った。