[10a-W611-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [10a-W611-7] 多数キャリア移動度の理論モデルを用いた液相結晶化シリコン薄膜の電気特性評価

〇(P)海汐 寛史¹、松井 卓矢¹、齋 均¹、櫻井 岳暁²、松原 浩司¹ (1.産総研、2.筑波大)

キーワード：液相結晶化、薄膜多結晶シリコン、薄膜太陽電池

近年、低コストなpoly-Si作製手法として、a-Siをレーザーで溶融・固化する液相結晶化法（LPC）が提案されている。LPC-Si太陽電池の効率向上にはLPC-Si膜の電気特性向上が必要だが、性能を律則する要因は未だ十分理解されていない。そこで本研究では、LPC-Siの電気特性を制限する要因とその改善法を明らかにすることを目的に、多数キャリア移動度の実験評価及び結晶粒界の影響を考慮した理論モデルとの比較検討を行った。