[10a-W631-1~12] 3.7 Laser processing

[10a-W631-10] Microfabrication of PDMS polymer using laser-induced bubble(2)

〇Yuji Ishidoya¹, Tomoya Naruse¹, Yasutaka Hanada¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:laser-induced bubble, nanosecond laser, thermosetting resin

汎用ナノ秒レーザーを用いたPDMSの深溝加工を試みた。本手法は、スライドガラスに熱硬化前の液状PDMSを注ぎ、電気炉で加熱し、粘度調整を行った後、スライドガラスと液状PDMSの界面にナノ秒レーザーを集光照射し、光軸方向に走査させることで、生成したレーザー誘起気泡同士を連結させる。その後、PDMSを熱硬化させることで気泡形状を反映した加工痕の作製が可能となる。よって、本発表では、レーザー誘起気泡を用いたPDMSの深溝加工の詳細について報告する。