[10a-W631-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[10a-W631-8] 光渦同軸干渉光を利用したレーザー描画露光法によるフォトレジストへの回折限界を超えた曲線パターンの形成

〇(M1)膝附 拓也¹、坂本 盛嗣¹、野田 浩平¹、佐々木 友之¹、川月 喜弘²、後藤 耕平³、小野 浩司¹ (1.長岡技科大、2.兵庫県立大、3.日産化学(株))

キーワード：光渦、フォトリソグラフィ