[10a-W922-1~9] 15.2 II-VI and related compounds

[10a-W922-9] Development of high gain ZnSe-based organic-inorganic hybrid ultraviolet avalanche photodiodes.

〇Yuki Ichikawa¹, Tanaka Keita¹, Yuta Fujii², Takuro Kawahara¹, Kazuki Nakagawa¹, Kentaro Yoshida², Tomoki Abe¹, Hirofumi Kasada¹, Koji Ando¹, Kunio Ichino¹, Kazuaki Akaiwa¹ (1.Tottori Univ., 2.Tottori Univ)

Keywords:ZnSe, APD, organic-inorganic hybrid

本研究では，有機導電材料であるPEDOT:PSSを窓層として用いたZnSe系有機ー無機のハイブリッド構造を有するアバランシェ・フォトダイオード(APD)の開発を行っている。今回，窓層形成プロセスの最適化によって素子形状の均一化および窓層の薄膜化を図り，増倍率の向上が確認されたため報告する．