[10p-M101-1~6] Spin Devices for the IoT/IoH Era

[10p-M101-2] Highly sensitive spintronic strain-gauge sensor and its application to IoT sensor device

〇Yoshihiko Fuji¹, Yoshihiro Higashi¹, Kazuaki Okamoto¹, Shotaro Baba¹, Kei Masunishi¹, Tomohiko Nagata¹, Shiori Kaji¹, Akiko Yuzawa¹, Tomio Ono¹, Michiko Hara¹ (1.Toshiba Corp.)

Keywords:Spintronics, MTJ, Strain-gauge

近年，HDDやMRAMに用いられているMTJ素子を応用した新しいひずみ検知素子が提案されている．我々はこの素子の感度を向上するために，高磁歪のFe基アモルファス磁性材料を検知層に用いたMTJ素子の開発を行い，従来のピエゾ抵抗素子を大きく超えるひずみ検出感度を確認した．講演では作製した素子の特性と，この素子を用いて作製したIoT向けのMEMSマイクフォロンデバイスについて紹介する．