[10p-PA3-1~21] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[10p-PA3-4] Analysis of nanoparticle-based humidity sensor by impedance spectroscopy

〇Yuya Dobashi¹, Shinya Kano¹, Minoru Fujii¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:humidity sensor, impedance spectroscopy, nanoparticle

皮膚病や脱水状態、ストレスといった生理学的な健康状態を知るために、経皮水分量や呼気に含まれる水分量を解析することは重要である。我々はこれまでにシリコンベースのナノ粒子塗布薄膜を用いた湿度センサを作製し、呼気に含まれる水分を検知することで労作時の呼吸数が測定できる­­­ことを報告している。今回は、ナノ粒子湿度センサの特性向上を目的としてインピーダンス分光解析を行い、センサの等価回路モデルを構成した。