[10p-PA5-1~13] 6.5 表面物理・真空

[10p-PA5-2] 酸化物金属薄膜を用いた水素原子検出器の開発

〇奥村 友喜¹、渡邉 幸輝¹、葛見 竜哉¹、島袋 祐次¹、和田 元¹ (1.同大理工)

キーワード：半導体

酸化ニッケルはサーミスタとして安価かつ容易に入手可能であるが，本研究ではFig.1に示した装置で，水蒸気とアルゴンの混合プラズマを利用して薄膜を作製する．水素原子の照射試験については， 熱解離型原子源及び，2.45GHzマイクロ波駆動のラジカル源より低エネルギー水素原子を系に導入する．抵抗値の測定はブリッジ回路を構成してFig.2に示すように原子状水素フラックスをチョッパーで振幅変調することにより，ブリッジ回路に微小な交流的電位差が生じる．これをロックインアンプで同期検出することにより，高感度の抵抗値変化の測定を行う．