[10p-PA5-1~13] 6.5 表面物理・真空

[10p-PA5-3] Si 基板上 SiO₂薄膜の電子線照射による還元反応：AFM および AES 像測定

〇藤森 敬典¹、千田 陽介¹、増田 悠右¹、氏家 夏樹¹、遠田 義晴¹ (1.弘前大院理工)

キーワード：シリコン酸化膜、還元反応、電子線照射効果