The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

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17 Nanocarbon Technology » 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[10p-PA8-1~39] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

Sun. Mar 10, 2019 4:00 PM - 6:00 PM PA8 (PA)

4:00 PM - 6:00 PM

[10p-PA8-5] Reuse of Ir(111)/α-Al2O3(0001) substrates in graphene CVD

Atsushi Sakurai1, Masaya Niki1, Zin Kitazaki1, Takeshi Watanabe1, Atsuhito Sawabe1, Shinji Koh1 (1.Aoyama Gakuin Univ.)

Keywords:graphene, CVD, Ir

高品質かつ大面積のグラフェンを成長させる有力な方法として化学気相成長(CVD)が注目されている。現在CVDの下地基板として広く用いられているCuはCVD中に表面モルフォロジーが大きく変化することから再利用には適さない。そこで我々はCVDの下地基板として高融点で高い化学的安定性を有するIrに着目し、再利用に最適なIr(111)/α-Al2O3(0001)の作製条件とCVD条件の確立を目指して実験を行った。その結果について報告する。