[10p-PB1-1~11] 1.6 超音波

[10p-PB1-2] 弾性表面波の液滴依存応答を用いた液滴の位置計測法

角ヶ谷 草汰¹、〇近藤 淳¹ (1.静岡大院総合)

キーワード：弾性表面波

弾性表面波(SAW)を用いたマイクロ流体システムでは，SAWによる液滴制御を行う．このとき，液滴位置を知ることは重要である．本研究では，液滴内に放射された縦波が再びSAWに変換されることを利用した液滴計測法について検討を行った．SAWデバイス上に液滴負荷した時に観察される反射波と透過波を同時に利用することにより，高精度で液滴位置計測が行えることを明らかにした．