[10p-PB5-1~55] 17 ナノカーボン（ポスター）

[10p-PB5-28] 超臨界流体エタノールを用いたLSI配線のためのCNM作製

〇萩原 啓斗¹、佐藤 光¹、伊藤 勝利¹、宇原 祥夫¹、齊藤 茂¹ (1.東理大工)

キーワード：カーボンナノマテリアル

超臨界流体堆積法は超臨界流体の低粘度・高拡散性から、微細孔へ高濃度の炭素供給が可能なため法と比較すると、数百倍の材料供給が期待できる。
今回我々は、エタノールを炭素源とし、微細孔への作製と埋め込みを試みた。の作製圧力の影響を報告する。