16:00 〜 18:00
[10p-PB5-31] ＬＳＩ配線のための超臨界二酸化炭素を用いたCNMの作製
―基板温度と圧力依存性―
キーワード：超臨界二酸化炭素
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン（ポスター講演）
[10p-PB5-1~55] 17 ナノカーボン（ポスター）
2019年3月10日(日) 16:00 〜 18:00 PB5 (武道場)