[10p-S321-1~7] 3.2 Equipment optics and materials

[10p-S321-4] The characteristics of low reflection film using single layer aligned hollow silica nanoparticles with narrow size distribution.

〇Wataru Futagami¹, Mitsuaki Kumazawa¹, Yuko Sanada¹, Ryo Muraguchi¹ (1.JGC Catalysts and Chemicals Ltd.)

Keywords:Low refrection film, Hollow silica nanoparticles, Low refractive index

反射防止膜の膜厚と同程度の粒子径を持つ、粒度分布が狭小な中空シリカナノ粒子を1段配列させた反射防止膜の特性とその特徴について報告する。