[10p-S423-1~13] CS.7 Code-sharing Session of 7.4 & 9.5

[10p-S423-7] Development of spatiotemporalmeasurement and analysis methods in x-ray photoelectron spectroscopy

〇Satoshi Toyoda¹, Yuta Kajino², Tomoki Yamamoto², Motoki Sudo³, Soichi Nose³, Masashi Yoshimura³, Hirosuke Sumida⁴, Susumu Minei⁴, Masatake Machida⁵, Akitaka Yoshigoe⁶, Kazushi Yokoyama² (1.Kyoto Univ., 2.Univ. of Hyogo, 3.SPring-8 Service, 4.Mazda, 5.Scienta Omicron, 6.JAEA)

Keywords:Buried Interface, X-ray Photoelectron Spectroscopy, Spatiotemporal analysis

我々は、埋もれた物質界面の”動態”を直接観測し、材料プロセス設計に活用できる技術を構築するため、雰囲気制御X線光電子分光のデータ計測・解析手法の開発に取り組んでいる。今回、数万〜10万本の時空間分割スペクトルを高速にピークフィッティングし、深さ方向分布の時系列解析へと連動させ、機械学習により評価するソフトウェアを構築した。発表では、多層界面の4次元可視化、人工知能による解析自動化について議論したい。