[10p-W241-1~8] 金属酸化物による新技術の開拓Ⅰ～薄膜形成からデバイス創出に至るまで～

[10p-W241-8] PdCoO₂/β-Ga₂O₃エピタキシャルショットキー接合

〇原田 尚之¹、伊藤 俊¹、塚﨑 敦¹ (1.東北大金研)

キーワード：酸化ガリウム、パワーデバイス、透明導電膜