[10p-W541-1~20] 15.4 III-V-group nitride crystals

[10p-W541-10] Development of Waveguide Mach-Zehnder Interferometer for Quantum Optical Application: Fabrication of GaN / n-AlGaN Directional Coupler

〇(M1)Masafumi Kihira¹, Junya Miwa¹, Tenta Komatsu¹, Masahiro Uemukai¹, Ryuji Katayama¹ (1.Grad. School of Eng., Osaka Univ.)

Keywords:GaN, directional coupler, optical waveguide

本研究では電界印加型位相シフタを含むMZIの作製にむけて、GaN導波層の下にn-AlGaN導電性クラッド層を設けた導波路構造においてGaN DCの設計を行った。3次元ビーム伝搬法（BPM）により波長810 nm（TM基本モード）における1:1分波 DCの設計を行った。次に結合導波路間隔0.30 μm のときの1:1分波結合長L1:1の導波路幅依存性を調べた。