[10p-W541-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

[10p-W541-18] 縦型結晶成長装置におけるGaN MOVPEシミュレーション

〇富澤 巧¹、川上 賢人²、櫻井 照夫²、草場 彰³、岡本 直也²、芳松 克則⁴、醍醐 佳明⁵、水島 一郎^5,6、依田 孝^5,6、寒川 義裕³、柿本 浩一³、白石 賢二⁴ (1.名大工、2.名大院工、3.九大応力研、4.名大未来研、5.ニューフレアテクノロジー、6.東工大未来研)

キーワード：GaN、結晶成長