[10p-W541-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

[10p-W541-20] MOVPE法のGaN結晶成長3次元マルチフィジックスシミュレーション

〇川上 賢人¹、高村 昴¹、草場 彰³、芳松 克則^2,1、岡本 直也¹、寒川 義裕^3,2、柿本 浩一³、白石 賢二^2,1 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)

キーワード：窒化ガリウム、有機金属気相成長法