[10p-W631-1~12] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[10p-W631-1] HfO₂基強誘電体スパッタ薄膜の成長時の酸素分圧が結晶成長・結晶構造に与える影響

〇高田 賢志¹、佐保 勇樹¹、桐谷 乃輔¹、吉村 武¹、芦田 淳¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：HfO2、強誘電体