[10p-W641-1~17] 6.3 Oxide electronics

[10p-W641-2] Effect of substrate roughness on properties of sputtered AZO transparent conducting film

〇Hideyuki OKUMURA¹, Kairi HAMADA¹, Takaya OGAWA¹, Keiichi ISHIHARA¹ (1.Kyoto Univ. GSES)

Keywords:AZO film, Bandgap, texture, Haze value

本研究では高い光拡散性を透明導電膜に与えるため、薄膜基板表面にラフネス形状を有するテクスチャ構造を形成する事に着目した。テクスチャ構造による光拡散性能はヘーズ値(曇り度)によって評価した。テクスチャ構造を有する試料のヘーズ値は、テクスチャ構造を有さない試料(1.4 %)に比して、シート抵抗値、可視光透過率を劣化させず、大きく向上した(34.5%)。本発表ではバンドギャップブルーシフトも含め、様々な観点から考察を行う。