[10p-W641-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-W641-2] RFスパッタ法で作製したAZO透明導電膜特性における基板表面ラフネスの影響

〇奥村 英之¹、濱田 海里¹、小川 敬也¹、石原 慶一¹ (1.京大エネ科)

キーワード：AZO膜、バンドギャップ、テクスチャ構造、ヘーズ値

本研究では高い光拡散性を透明導電膜に与えるため、薄膜基板表面にラフネス形状を有するテクスチャ構造を形成する事に着目した。テクスチャ構造による光拡散性能はヘーズ値(曇り度)によって評価した。テクスチャ構造を有する試料のヘーズ値は、テクスチャ構造を有さない試料(1.4 %)に比して、シート抵抗値、可視光透過率を劣化させず、大きく向上した(34.5%)。本発表ではバンドギャップブルーシフトも含め、様々な観点から考察を行う。