[10p-W833-1~17] 16.1 Fundamental properties, evaluation, process and devices in disordered materials

△ [10p-W833-9] Anticorrosion Characteristics of Nb₂O₅ Laminated Coating by Room Temperature Atomic Layer Deposition

〇(DC)Kazuki Yoshida¹, Masanori Miura², Ying Jie¹, Kanomata Kensaku², Fumihiko Hirose¹ (1.Yamagata Univ., 2.ROEL Yamagata Univ.)

Keywords:atomic layer deposition, thin film, anticorrosion

Al₂O₃は高い安定性を持つことから耐腐食材料として知られている。一方で薄いAl₂O₃膜では水や酸による腐食を防ぎきれない。これに対してNb₂O₅を積層することで耐腐食性能が大きく改善する報告がある。しかし高温での成膜が必須であり、フレキシブルエレクトロニクス分野への応用が難しい。本研究では室温原子層堆積法を用いてAl₂O₃とNb₂O₅の積層膜を形成し高い耐腐食性能を得ることに成功したのでこれを報告する。