2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 新デバイス・材料開発のためのナノスケール2次元/3次元分析(II)

[10p-W933-1~9] 新デバイス・材料開発のためのナノスケール2次元/3次元分析(II)

2019年3月10日(日) 13:30 〜 17:45 W933 (W933)

松本 祐司(東北大)、古川 貴司(日立ハイテク)

14:15 〜 14:45

[10p-W933-3] 原子間力顕微鏡によるナノスケール表面下構造イメージング

戸野 博史1、木村 邦子1、小林 圭1、〇山田 啓文1 (1.京大院工)

キーワード:原子間力顕微鏡、表面下構造