[10p-W933-1~9] 新デバイス・材料開発のためのナノスケール2次元/3次元分析(II)

[10p-W933-4] 超音波原子間力顕微鏡によるナノ領域弾性特性評価法

〇辻 俊宏¹ (1.東北大)

キーワード：原子間力顕微鏡、接触共振、超音波計測

超音波を用いた弾性特性評価法は構造材料やデバイスの非破壊検査に利用されてきたが、空間分解能をナノスケールにまで高めることは容易では無い。超音波原子間力顕微鏡は、この課題の解決を図って開発された手法であり、探針が試料に接触したカンチレバーのたわみ共振振動の効果により柔軟なカンチレバーを用いながらも固い工業材料の弾性特性評価が実現される。本講演では原理と解析法および代表的な応用例を紹介する。