[11a-70A-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [11a-70A-6] 4H-SiC MOS反転層におけるHall移動度の理論的検討

〇田中 一¹、森 伸也¹ (1.阪大院工)

キーワード：SiC、MOS、移動度