[11a-70A-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [11a-70A-7] SiC MOSFETにおける界面準位密度分布のボディ層濃度依存性

〇伊藤 滉二¹、小林 拓真¹、堀田 昌宏^1,2、須田 淳^1,2、木本 恒暢¹ (1.京大院工、2.名大院工)

キーワード：SiC、MOS、MOSFET