9:30 AM - 11:30 AM
[11a-PA5-1] Two-dimensional thin films preparation by sputtering deposition using powder target I
Keywords:Powder target, Two-dimensional film
多穴型のターゲットホルダを作製し、それを用いて2次元空間分布を持つ多元素薄膜を1度のプロセスでできないか検討した。その結果、2次元分布をもつ薄膜が作成されていることが分かった。それぞれの組成を調べたところ、薄膜の2次元分布はターゲットの2次元分布とほぼ同様であることが分かった。