[11a-PA5-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11a-PA5-1] 粉体ターゲットによる２次元薄膜の作製I

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、篠原 正典¹ (1.佐世保高専)

キーワード：粉体ターゲット、2次元薄膜作製

多穴型のターゲットホルダを作製し、それを用いて2次元空間分布を持つ多元素薄膜を１度のプロセスでできないか検討した。その結果、２次元分布をもつ薄膜が作成されていることが分かった。それぞれの組成を調べたところ、薄膜の２次元分布はターゲットの２次元分布とほぼ同様であることが分かった。