[11a-PA5-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11a-PA5-12] 低圧RF容量結合型炭化水素プラズマによるDLC膜堆積モデルの構築

〇(M1)小川 慎¹、小田 昭紀¹、太田 貴之²、上坂 裕之³ (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)

キーワード：プラズマ支援化学気相成長、薄膜堆積シミュレーション、容量性結合型プラズマ