[11a-PA5-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11a-PA5-8] プラズマ支援ミストCVDにおけるプラズマ中の液滴蒸発挙動

〇竹中 弘祐¹、節原 裕一¹ (1.阪大接合研)

キーワード：ZnO、プラズマ支援ミストCVD