[11a-PB2-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-PB2-3] 酸素欠損のあるSiO₂の動特性に関する圧力効果と温度効果の検討

〇矢島 雄司¹、白石 賢二^2,4、遠藤 哲郎^3,4、影島 博之^1,4 (1.島根大院、2.名古屋大、3.東北大、4.JST-ACCEL)

キーワード：SiO2、動特性、第一原理分子動力学計算