[11a-PB2-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-PB2-2] 格子定数の変調によるSiO₂中のV_o拡散障壁の変化の研究

〇(M1)矢田 航平¹、影島 博之¹ (1.島根大院自然科学)

キーワード：SiO2、酸素空孔、第一原理計算