9:30 AM - 11:30 AM
[11a-PB4-7] Growth temperature dependence of high In composition GaInN grown by RF-MBE
Keywords:GaInN
GaInNはIn組成を制御することによって0.7eVから3.4eVまでをカバーすることができる直接遷移半導体であり,可視光領域全てをカバーすることができる非常に魅力的な材料である.しかし,GaInNは長波長(黄~赤色)になるほど効率の良い発光を示さなくなる.この問題の要因はGaInN中の結晶欠陥である.結晶欠陥が起きる原因としてGaNとInNとの大きな格子不整合(~11%)による問題,およびそれに付随する格子緩和の影響がある.そのため現在は,GaN上にGaInN成長した青・緑LEDが実用化されているが,赤色LEDにはAlGaInP/GaAsが主に用いられている.そこで,低転位GaInN下地層を提案する.GaInN下地層は成長温度が重要なパラメータである