[11a-W242-1~7] エネルギーハーベスティングの新展開

[11a-W242-7] ＭＥＭＳエレクトレット振動発電デバイスの産業化

〇三屋 裕幸¹、芦澤 久幸¹、本間 浩章²、藤田 博之²、橋口 原³、年吉 洋² (1.鷺宮製作所、2.東大生研、3.静大工)

キーワード：振動発電、MEMS、産業化

我々のグループでは，ＭＥＭＳ（Microelectromechanical Systems）プロセスと親和性が高く，狭ギャップ，高アスペクトの櫛歯電極の側壁を均一にエレクトレット化する手法を独自に構築しており，環境振動から高効率的にエネルギー回収する振動発電デバイスの研究開発を進めている。この成果をもとに，２０２１年に振動エナジーハーベスタの上市を予定している。