[11a-W351-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

[11a-W351-11] [Young Scientist Presentation Award Speech] Improvements of Efficiency and Output Power of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvester using Sputtered BiFeO₃ Film

〇Masaaki Aramaki¹, Takeshi Yoshimura¹, Shuichi Murakami², Kazuo Satoh², Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.ORIST)

Keywords:MEMS, Lead free, Sputtering

非鉛強誘電体であるBiFeO₃薄膜を用いて、高い発電性能を有する圧電MEMS振動発電素子の実現に取り組んだ。作製したMEMS素子の共振周波数、電気機械結合係数、機械的Q値はそれぞれ151 Hz、0.1%、850であった。印加加速度0.3 Gにおいて最大発電量は2.4 μWに到達した。非鉛強誘電体を用いてPZT薄膜を搭載した圧電MEMS振動発電素子と同程度の発電性能を得ることができた。